先端SIMS分析仪NanoSIMS 50L
Nano SIMS
本次导入的NanoSIMS 50L是一种二次离子质谱（SIMS）装置，在世界范围的分析机构在内当属先例。 其可以进行低至50 nm的高空间分辨率的成像分析和深度剖面分析，而传统的动态SIMS和TOF-SIMS则无法实现。
NanoSIMS的特征
| 小探针直径（在SIMS中最小） |
| —微区分析 |
| —高分辨率成像分析 |
| 高灵敏度（可以检测到杂质） |
NanoSIMS和SEM-EDX、EPMA的比较
| 功能 | NanoSIMS | SEM-EDX | EPMA |
|---|---|---|---|
| 探针 | 离子束（Cs+、O–） | 电子线 | 电子线 |
| 空间分辨率 | ～50 nm | ～100 nm | ～100 nm |
| 检出下限 | ～ppm | 0.数 wt% | 0.0X～0.1 % |
| 元素 | H～U | B～U | B～U |
| 定性分析 | ✕ | 〇 | 〇 |
| 定量分析 | 定量分析（STD必要） | 半定量分析（STD不要） | 半定量分析（STD不要） 定量分析（STD必要） |
| 特征 | ・杂质的高灵敏度分析 ・同位素分析 ・深度方向分析 | ・空间分辨率高 ・多元素定性分析 ・测量时间短 | ・空间分辨率高 ・多元素定性分析 |
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