先端SIMS分析仪NanoSIMS 50L

Nano SIMS

本次导入的NanoSIMS 50L是一种二次离子质谱(SIMS)装置,在世界范围的分析机构在内当属先例。 其可以进行低至50 nm的高空间分辨率的成像分析和深度剖面分析,而传统的动态SIMS和TOF-SIMS则无法实现。

先端SIMS分析仪NanoSIMS 50L

NanoSIMS的特征

小探针直径(在SIMS中最小)
—微区分析
—高分辨率成像分析
高灵敏度(可以检测到杂质)

NanoSIMS和SEM-EDX、EPMA的比较

功能NanoSIMSSEM-EDXEPMA
探针离子束(Cs+、O电子线电子线
空间分辨率~50 nm~100 nm~100 nm
检出下限~ppm0.数 wt%0.0X~0.1 %
元素H~UB~UB~U
定性分析
定量分析定量分析(STD必要)半定量分析(STD不要)半定量分析(STD不要)
定量分析(STD必要)
特征・杂质的高灵敏度分析
・同位素分析
・深度方向分析
・空间分辨率高
・多元素定性分析
・测量时间短
・空间分辨率高
・多元素定性分析

[生命科学]通过NanoSIMS评估药物对头发的渗透性

为了评估药物对头发的渗透性,我们介绍了一个高空间分辨率成像示例,该示例显示了已渗透有稳定同位素(氘)标记的化合物的头发横截面。

[生命科学] NanoSIMS对皮肤横截面进行高空间分辨率成像

NanoSIMS具有所有质量成像设备中最高的空间分辨率(50 nm),并且能够在微观区域(〜µm)中进行高灵敏度的元素成像。 作为对生物样品的应用,我们将介绍皮肤横截面的高空间分辨率成像示例。

[半导体]用NanoSIMS评估SiC-MOSFET截面的元素分布

在本期中,我们将介绍使用NanoSIMS和TEM-EDX比较SiC-MOSFET截面的元素分布的情况。

[半导体]通过NanoSIMS分析3D存储设备

在本期中,我们将介绍使用TOF-SIMS和NanoSIMS评估的三维存储设备的示例。

[蓄电装置]用NanoSIMS评价活性物质被覆层的被覆状态

这次,我们将介绍通过NanoSIMS成像评估在LCO粉末上涂布的LTO薄膜的涂布状态的情况。

[半导体] Nano SIMS 50L对SiC-MOSFET的二维成像和深度分布

NanoSIMS 50L是二次离子质谱(SIMS)装置之一,可以从SiC-MOSFET的表面进行3D成像测量,并在分析后提取特定位置的深度轮廓。 可以以高灵敏度检测N型掺杂物(磷),并且可以获得最大6位数字的动态范围。 由于这是一种高度灵敏的方法,因此可以评估难以用SEM EDX检测到的杂质元素。

[材料]通过NanoSIMS对光纤横截面的二次离子图像

通过NanoSIMS测量光纤横截面的二次离子图像。 由于具有高空间分辨率和高检测灵敏度,因此可以获得清晰的二次离子图像。 可以捕获包层和芯层中F和Ge的详细分布。

[生命科学]用于生物组织表面蛋白质成像的抗体染色/ NanoSIMS

TRC新设计了一种用于NanoSIMS测量的原始探针,并将其与抗体染色相结合,可以对活组织表面上的特定蛋白质进行成像。

相关新闻

分享本页
返回顶部