先端SIMS分析仪NanoSIMS 50L

Nano SIMS

本次导入的NanoSIMS 50L是一种二次离子质谱(SIMS)装置,在世界范围的分析机构在内当属先例。 其可以进行低至50 nm的高空间分辨率的成像分析和深度剖面分析,而传统的动态SIMS和TOF-SIMS则无法实现。

先端SIMS分析仪NanoSIMS 50L

NanoSIMS的特征

小探针直径(在SIMS中最小)
—微区分析
—高分辨率成像分析
高灵敏度(可以检测到杂质)

NanoSIMS和SEM-EDX、EPMA的比较

功能NanoSIMSSEM-EDXEPMA
探针离子束(Cs+、O电子线电子线
空间分辨率~50 nm~100 nm~100 nm
检出下限~ppm0.数 wt%0.0X~0.1 %
元素H~UB~UB~U
定性分析
定量分析定量分析(STD必要)半定量分析(STD不要)半定量分析(STD不要)
定量分析(STD必要)
特征・杂质的高灵敏度分析
・同位素分析
・深度方向分析
・空间分辨率高
・多元素定性分析
・测量时间短
・空间分辨率高
・多元素定性分析

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