半导体分析方案

服务项目
  • 功率器件用碳化硅(SiC)的技术信息。
    技术文件
    SiC MOSFET的应力、载流子浓度和缺陷的表征
    关于高功率SiC器件存在几个问题,例如(1)栅极氧化物的可靠性,(2)SiC外延膜的质量,(3)离子注入的优化,(4)封装技术。 使用扫描电容显微镜(SCM),阴极发光(CL),拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱(FT-IR)可以解决这些问题。
    SiC-MOSFET截面的NanoSIMS元素分析
    NanoSIMS 50L可以在二次离子质谱仪中提供最高的横向分辨率,并且可以同时实现高灵敏度和高质量分辨率。 在这里,我们介绍了使用NanoSIMS和TEM-EDX对SiC-MOSFET进行的截面分析。
    SiC功率器件封装的失效分析
    在半导体封装的故障分析中,重要的是通过无损检查方法来推测故障部位。 对于产生大量热量的功率器件,有效地推测出故障前后的散热性能变化是有效的。 例如,可以检测到焊料层中的缺陷。
  • 功率器件氮化镓(GaN)的技术信息
    技术文件
    功率半导体器件的使用分析 STEM
    通过扫描透射电子显微镜(STEM),可以表征GaN-HEMT的GaN外延层的晶体结构,元素组成以及Si-MOSFET的Si外延层的p-n结。
    通过高灵敏度的光致发光(PL)成像观察缺陷
    通过引入高灵敏度的CCD相机并优化照明和检测系统,我们开发了主要用于化合物半导体的光致发光(PL)成像系统。 伪像大大减少,并对缺陷变得高度敏感。 特别适用于低发光材料。
    用拉曼光谱法评估GaN HEMT中随温度变化的应力
    我们评估了GaN HEMT中随温度变化的应力。 随着温度升高,GaN层中的压应力增加。 焊接过程影响了GaN层中的应力。 通过拉曼光谱法进行的应力评估可用于优化封装。
    通过截面阴极发光观察GaN HEMT中的损伤和应力
    宽带隙半导体仍然存在许多缺陷。 在器件制造期间还会产生致命缺陷,例如离子注入和干法蚀刻。 横截面阴极发光(CL)对过程损伤敏感,可用于过程优化和故障分析。
  • 下一代半导体的技术信息(Ga2O3,SCAM等)
    技术文件
    在蓝宝石衬底上生长的Ga2O3外延层的结构表征
    宽带隙半导体材料之一的Ga2O3作为下一代功率半导体受到关注。 由于Ga2O3是多晶型晶体,因此难以使用常规横截面TEM观察精确地识别晶体结构。 我们结合横截面透射电子显微镜和原子分辨率平面观察透射电子显微镜,介绍了Ga2O3薄膜的晶体结构分析实例。
    Ga2O3的离子注入工艺的综合
    宽带隙半导体材料之一的Ga2O3作为下一代功率半导体受到关注。 由于离子注入过程在器件制造中很重要,因此我们评估了掺杂剂激活过程以及由离子注入引起的晶体缺陷。
    ScAlMgO4(SCAM)晶体的物理性质测量
    人们一直期望ScAlMgO4(SCAM)作为GaN等发光元件的蓝宝石替代衬底材料,因为GaN的晶格失配很小。 我们介绍了设备设计所需的热和机械性能测量结果。
技术要点
离子注入、退火栅介质膜和电极形成
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